特种气体站房
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特种气体站房特种气体在半导体行业应用比较多，一些用气量大的工厂需要建立特种气体站房，特种气体在分类和设计上需要注意很多问题。特种气体设计要求：特种气体应根据其物理化学性能及安全特性进行分类和工程设计。
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